潔淨室裡存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風和空調（HVAC）、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。HVAC係統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片製造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，儘可能地壓縮前期投入，而不顧後期運行費用。高效率的設計和高效率設備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。

3、根據(jù)“立方定則”，風機能耗的變化與流量變化的立方成正比。如果空氣流量降低50%，風機能耗將下降88%。因此，較大尺寸的空氣處理器、較大的過濾器和盤管麵積消耗較少的風機能量，可以使用比較小的風機和馬達。小風機給空氣添加的熱量比較少，降低了冷卻的難度。厚度小的盤管更容易清洗、工作效率更高，所以冷凍水的溫度可以更高。過濾器在低斷麵風速情況下，工作效果更好、壽命更長。目標是使能量損耗降低至少25%，減小變速風機的大小。優(yōu)的斷麵風速範圍是250-450英尺/分鐘（1.27-2.29m/s），具體取決於使用情況和能量消耗。

2、空氣潔淨度比節(jié)約能耗更重要，但是新的研究成果已經有降低潔淨成本的記載了。關於換氣次數(shù)還冇有達成共識。許多原則都已過時，是建立在老觀念上，采用低效的空氣過濾器。調查顯示，ISO第5級標準的潔淨室推薦的換氣次數(shù)變化範圍是從250到700以上。

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