潔淨度等級表
ISO-14644的潔淨度等級表。
一、淨化工程潔淨室主要根據(jù)室內(nèi)潔淨度、氣流形式、控製對象、結(jié)構(gòu)等特點分類。按室內(nèi)潔淨度分類主要分為1級、10級、100級、10000級、10000級。按控製對象分類分為工業(yè)潔淨室和生物潔淨室。工業(yè)潔淨室以空氣中的懸浮塵埃為控製對象，生物潔淨室以懸浮生物粒子(微生物)為控製對象。潔淨室它是懸浮粒子濃度受控，其建造和使用方式使得進入、產(chǎn)生、滯留於室內(nèi)的粒子較少的房間。室內(nèi)的其它參數(shù)包括：溫度、溫度、氣壓等，按需要受控。
二、ISO-14644的潔淨度等級表。
潔淨室及潔淨空氣中懸浮粒子的潔淨度等級ISO-14644
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空氣潔淨度等級（N） |
≥表中粒徑的*大濃度限值（個/m3） |
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0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
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1 |
10 |
2 |
/ |
/ |
/ |
/ |
|
2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
/ |
/ |
|
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
/ |
|
4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
/ |
|
5 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
|
6 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
|
7 |
/ |
/ |
/ |
352000 |
83200 |
2930 |
|
8 |
/ |
/ |
/ |
3520000 |
832000 |
29300 |
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9 |
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35200000 |
8320000 |
293000 |
潔淨度等級表（ISO 14644標準）?
?ISO等級? ?≥0.1μm粒子限值（個/m3）? ?≥0.5μm粒子限值（個/m3）? ?典型應(yīng)用場景?
?ISO 1級? ≤10 ≤2 納米級半導(dǎo)體製造
?ISO 3級? ≤1,000 ≤102 **芯片光刻區(qū)
?ISO 5級? ≤100,000 ≤3,520 生物製藥A級無菌灌裝區(qū)、百級手術(shù)室
?ISO 7級? — ≤352,000 萬級潔淨車間（電子裝配、醫(yī)療器械生產(chǎn)）
?ISO 8級? — ≤3,520,000 十萬級食品包裝、普通實驗室
?核心分類與行業(yè)適配?
?工業(yè)潔淨室?
?控製對象?：懸浮塵埃粒子（如0.1μm~5.0μm常規(guī)粒子）
?典型等級?：
?ISO 1-3級?：半導(dǎo)體晶圓製造（帶寬<2μm工藝）
?ISO 5-7級?：液晶麵板組裝、精密液壓設(shè)備裝配7
?生物潔淨室?
?控製對象?：懸浮微生物及超微粒子（<0.1μm）
?典型等級?：
?ISO 5級?：無菌藥品分裝、移植手術(shù)室（動態(tài)百級）
?ISO 7-8級?：食品微生物檢測、普通生物實驗室
?特殊行業(yè)標準對照?
?醫(yī)藥GMP規(guī)範?：A級區(qū)對應(yīng)ISO 5級（微?！?520個/m3且微生物<1CFU/m3）
?中國GB 50073?：對電子廠房增設(shè)0.1μm微粒動態(tài)控製（如ISO 5級要求0.1μm粒子<1000個/m3）
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