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無塵室是汙染控製的基礎
日期：2025-08-17 13:06
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摘要：
無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清淨室。它是汙染控製的基礎。冇有無塵室，汙染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2裡麵，無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控製空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崪Q度級彆。無塵室是指將一定空間範圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、**等之汙染物排除，並將室內(nèi)之溫度、潔淨度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內(nèi)，而所給予特彆設計之房間。
無塵淨化級彆主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵並非100%冇有一點灰塵，而是控製在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對於光學構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負麵影響，所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
無塵室每立方米將小於0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控製在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對於灰塵的要求高於A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控製在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級彆。
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