一、潔凈室它是懸浮粒子濃度受控，其建造和使用方式使得進(jìn)入、產(chǎn)生、滯留于室內(nèi)的粒子*少的房間。室內(nèi)的其它參數(shù)包括：溫度、溫度、氣壓等，按需要受控。

二、風(fēng)機(jī)過濾單元層流應(yīng)用相關(guān)：

風(fēng)機(jī)過濾單元層流是將空氣以一定地風(fēng)速通過高效過濾器后，形成均流層，使?jié)崈艨諝獬蚀怪眴蜗蛄鳎瑥亩ＷC了工作區(qū)內(nèi)達(dá)到工藝要求的高潔凈度。風(fēng)機(jī)過濾單元運(yùn)用主要運(yùn)用于潔凈室潔凈度高等級(jí)行業(yè)，如LED電子、制藥、手術(shù)室、實(shí)驗(yàn)室等。百級(jí)風(fēng)機(jī)過濾單元可模塊化連接使用， 百級(jí)風(fēng)機(jī)過濾單元是一種可提供局部潔凈環(huán)境的空氣凈化單元,可靈活地安裝在需要高潔凈度的工藝點(diǎn)上方，潔凈風(fēng)機(jī)過濾單元可以單個(gè)使用，也可多個(gè)組合成帶狀潔凈區(qū)域。

三、風(fēng)機(jī)過濾單元層流特點(diǎn)：

A、靈活性。因?yàn)轱L(fēng)機(jī)過濾單元是自帶動(dòng)力的，它不受區(qū)域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整，風(fēng)機(jī)過濾單元的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會(huì)帶來二次投資。

B、可再利用性。從理論上講，一時(shí)不用的風(fēng)機(jī)過濾單元設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。

C、負(fù)壓通風(fēng)。這是風(fēng)機(jī)過濾單元的獨(dú)特特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔靜廠房負(fù)壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會(huì)受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且**。 第D、縮短建設(shè)周期。使用風(fēng)機(jī)過濾單元省掉了風(fēng)管的制作和安裝，因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用風(fēng)機(jī)過濾單元成為了一種可能。

E、減少運(yùn)行成本。雖然在選用風(fēng)機(jī)過濾單元時(shí)，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但它在后期運(yùn)行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。用大循環(huán)減少40%的運(yùn)行成本。

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