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無塵室是污染控制的基礎(chǔ)
日期：2025-08-21 22:10
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摘要：
無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、**等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。
無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
無塵室每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
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